Tsoelopele ea Lipatlisiso eaInGaAs photodetector
Ka kholo e kholo ea molumo oa phetisetso ea data ea puisano, thekenoloji ea optical interconnection e nkile sebaka sa thekenoloji e tloaelehileng ea khokahano ea motlakase mme e fetohile theknoloji e ka sehloohong bakeng sa phetisetso ea tahlehelo e tlase ea lebelo le mahareng le e telele. Joalo ka karolo ea mantlha ea pheletso ea ho amohela optical, thephotodetectore na le litlhoko tse phahameng ka ho fetisisa bakeng sa ts'ebetso ea eona ea lebelo le phahameng. Har'a bona, waveguide e kopantseng photodetector e nyane ka boholo, e phahame ka bandwidth, 'me e bonolo ho kopanngoa holim'a-chip le lisebelisoa tse ling tsa optoelectronic, e leng sepheo sa lipatlisiso tsa photodetection ea lebelo le phahameng. 'me ke li-photodetectors tse emelang ka ho fetisisa sehlopheng sa puisano se haufi le infrared.
InGaAs ke e 'ngoe ea lisebelisoa tse nepahetseng bakeng sa ho fihlella lebelo le phahameng leli-photodetectors tse phahameng ka ho fetisisa. Taba ea pele, InGaAs ke sesebelisoa se otlolohileng sa semiconductor sa bandgap, 'me bophara ba eona ba bandgap bo ka laoloa ke karo-karolelano lipakeng tsa In le Ga, e nolofalletsang ho lemoha matšoao a optical a maqhubu a fapaneng a maqhubu. Har'a tsona, In0.53Ga0.47As e lumellana ka ho phethahetseng le lesela la InP substrate 'me e na le coefficient e phahameng haholo ea ho monya leseli sehlopheng sa puisano sa optical. Ke eona e sebelisoang haholo ho lokiseng photodetector hape e na le ts'ebetso e ikhethang ka ho fetesisa e lefifi le ts'ebetso ea karabelo. Taba ea bobeli, lisebelisoa tsa InGaAs le InP li na le lebelo le holimo la elektrone ho hoholeha, 'me lebelo la tsona la ho hoholeha ha elektronike ka bobeli ke 1×107cm/s. Ho sa le joalo, tlas'a masimo a motlakase a khethehileng, lisebelisoa tsa InGaAs le InP li bonts'a liphello tsa elektronike velocity overshoot, ka lebelo la bona la ho feta le fihla 4 × 107cm / s le 6 × 107cm / s ka ho latellana. E thusa ho fihlella bandwidth e phahameng ea ho tšela. Hona joale, li-photodetectors tsa InGaAs ke tsona tse tloaelehileng ka ho fetisisa tsa photodetectors bakeng sa puisano ea optical. Lisebelisoa tsa boholo bo bonyenyane, tsa morao-rao, le li-high-bandwidth surface detectors le tsona li entsoe, haholo-holo li sebelisoa lits'ebetsong tse kang lebelo le phahameng le ho tlala metsi.
Leha ho le joalo, ka lebaka la mefokolo ea mekhoa ea bona ea ho kopanya, li-detectors tsa liketsahalo tsa holim'a metsi li thata ho li kopanya le lisebelisoa tse ling tsa optoelectronic. Ka hona, ka tlhokahalo e ntseng e eketseha ea kopanyo ea optoelectronic, waveguide e kopantsoeng le InGaAs photodetectors tse nang le ts'ebetso e ntle haholo 'me e loketse ho kopanngoa butle-butle e fetohile sepheo sa lipatlisiso. Har'a tsona, li-module tsa khoebo tsa InGaAs tsa photodetector tsa 70GHz le 110GHz hoo e ka bang kaofela li amohela mekhoa e kopanyang ea waveguide. Ho latela phapang ea thepa ea substrate, li-photodetectors tsa waveguide tse kopantsoeng tsa InGaAs li ka aroloa ka mefuta e 'meli: INP-based le Si-based. Epitaxial ea thepa ho li-substrates tsa InP e na le boleng bo phahameng 'me e loketse ho etsoa ha lisebelisoa tse sebetsang hantle. Leha ho le joalo, bakeng sa lisebelisoa tsa sehlopha sa III-V tse holisitsoeng kapa tse hokahaneng ho li-substrates tsa Si, ka lebaka la ho se lumellane ho fapaneng lipakeng tsa thepa ea InGaAs le li-substrates tsa Si, boleng ba thepa kapa sebopeho se batla se fokola, 'me ho ntse ho na le sebaka se seholo sa ntlafatso ts'ebetsong ea lisebelisoa.
Sesebelisoa se sebelisa InGaAsP sebakeng sa InP joalo ka thepa ea sebaka sa depletion. Leha e fokotsa lebelo la ho hoholeha ha lielektrone ho isa bohōleng bo itseng, e ntlafatsa khokahanyo ea leseli la liketsahalo ho tloha ho waveguide ho ea sebakeng sa ho monya. Ka nako e ts'oanang, mokhoa oa ho kopana oa InGaAsP N oa mofuta o tlosoa, 'me lekhalo le lenyenyane le thehoa ka lehlakoreng le leng le le leng la sebaka sa mofuta oa P, ka katleho ho ntlafatsa tšitiso tšimong ea leseli. E thusa sesebelisoa ho fumana boikarabello bo phahameng.
Nako ea poso: Jul-28-2025