Patlisiso e ncha mabapi le sesebelisoa sa ho lemoha lifoto sa InGaAs se tšesaane haholo

Patlisiso e ncha mabapi le tse tšesaane haholoSesebelisoa sa ho lemoha foto sa InGaAs
Tsoelo-pele ea theknoloji ea litšoantšo tsa infrared ea maqhubu a makhutšoanyane (SWIR) e entse menehelo e kholo lits'ebetsong tsa pono ea bosiu, tlhahlobo ea indasteri, lipatlisiso tsa saense, le tšireletso ea ts'ireletso le masimo a mang. Ka tlhoko e ntseng e eketseha ea ho lemoha ka nģ'ane ho sephara sa khanya e bonahalang, nts'etsopele ea li-sensor tsa litšoantšo tsa infrared ea maqhubu a makhutšoanyane le eona e ntse e eketseha khafetsa. Leha ho le joalo, ho fihlella qeto e phahameng le lerata le tlase.sesebelisoa sa ho lemoha foto sa mahlakore a mangatae ntse e tobane le liphephetso tse ngata tsa botekgeniki. Le hoja sesebelisoa sa ho lemoha li-infrared sa InGaAs sa maqhubu a makhutšoanyane se ka bontša bokhoni bo botle ba phetoho ea photoelectric le motsamao oa carrier, ho na le khohlano ea mantlha lipakeng tsa matšoao a bona a bohlokoa a ts'ebetso le sebopeho sa sesebelisoa. Ho fumana bokhoni bo phahameng ba quantum (QE), meralo e tloaelehileng e hloka lera la ho monya (AL) la li-micrometer tse 3 kapa ho feta, 'me moralo ona oa sebopeho o lebisa mathateng a fapaneng.
E le ho fokotsa botenya ba lera la ho monya (TAL) ho InGaAs short-wave infraredsesebelisoa sa ho lemoha foto, ho lefella phokotso ea ho monya maqhubung a malelele a maqhubu ho bohlokoa, haholo-holo ha botenya ba lera la ho monya sebakeng se senyenyane bo lebisa ho monyellong o sa lekaneng sebakeng se selelele sa maqhubu. Setšoantšo sa 1a se bontša mokhoa oa ho lefella botenya ba lera la ho monya sebakeng se senyenyane ka ho atolosa tsela ea ho monya ea optical. Thuto ena e ntlafatsa katleho ea quantum (QE) sehlopheng sa infrared sa maqhubu a makhutšoanyane ka ho hlahisa sebopeho sa resonance ea mokhoa o tataisoang oa TiOx/Au (GMR) ka lehlakoreng le ka morao la sesebelisoa.

Ha ho bapisoa le meaho ea setso ea ponelopele ea tšepe e planar, sebopeho sa resonance sa mokhoa o tataisoang se ka hlahisa litlamorao tse ngata tsa ho monya resonance, se ntlafatsa haholo katleho ea ho monya ea khanya ea bolelele ba maqhubu a malelele. Bafuputsi ba ntlafalitse moralo oa liparamente tsa bohlokoa tsa sebopeho sa resonance sa mokhoa o tataisoang, ho kenyeletsoa nako, sebopeho sa thepa, le ntlha ea ho tlatsa, ka mokhoa oa tlhahlobo e matla ea maqhubu a kopantsoeng (RCWA). Ka lebaka leo, sesebelisoa sena se ntse se boloka ho monya ho sebetsang hantle sehlopheng sa infrared sa maqhubu a makhutšoane. Ka ho sebelisa melemo ea thepa ea InGaAs, bafuputsi ba boetse ba batlisisitse karabelo ea spectral ho latela sebopeho sa substrate. Ho fokotseha ha botenya ba lera la ho monya ho lokela ho tsamaea le ho fokotseha ha EQE.
Qetellong, patlisiso ena e atlehile ho hlahisa sesebelisoa sa ho lemoha sa InGaAs se nang le botenya ba di-micrometer tse 0.98 feela, se sesesaane ho feta sebopeho sa setso ka makgetlo a fetang 2.5. Ka nako e ts'oanang, se boloka bokgoni ba quantum bo fetang 70% sebakeng sa bolelele ba maqhubu a 400-1700 nm. Katleho e kgolo ya sesebelisoa sa ho lemoha difoto sa InGaAs se sesesaane haholo se fana ka tsela e ntjha ya botekgeniki bakeng sa ntshetsopele ya di-sensor tsa setshwantsho tse nang le qeto e phahameng, tse nang le lerata le tlase. Nako e potlakileng ya ho tsamaisa sesebediswa e tlisitsweng ke moralo wa sebopeho se sesesaane haholo e lebelletswe ho fokotsa haholo puisano ya motlakase le ho ntlafatsa dibopeho tsa karabelo tsa sesebediswa. Ka nako e ts'oanang, sebopeho sa sesebediswa se fokoditsweng se loketse haholo theknoloji ya kopanyo ya di-chip tse tharo (M3D) tse le nngwe, e leng se thehileng motheo wa ho fihlella di-pixel tse nang le bongata bo boholo.